製品紹介

3D プロセスシミュレータ

製品紹介
3Dプロセスシミュレータとして最高の実用性を実現すべく開発されたシリーズです。
極めて安定した3D形状計算とイオン注入･拡散などの計算機能を備えています。さらに、点欠陥拡散モデル、安定した酸化計算、モンテカルロモデルによる高精度なイオン注入計算を揃え、最高の3Dプロセスシミュレーション技術を提供します。
シリーズ中には、高精度で汎用性が高い配線容量計算シミュレータ、受光素子の光学特性を独自手法で高速に解析するシミュレータを揃えています。

3D デバイスシミュレータ

製品紹介
ハイブリッドメッシュの採用により高い形状適合性と高効率な解析が可能な3Dデバイスシミュレータで、当社の３Dプロセスシミュレータと併用して最も有効にお使いいただけます。
３Dプロセスシミュレータで作成した素子形状を利用し正確な形状効果が解析可能です。回路シミュレータと結合したMixed-Mode解析はLSIや実回路中でのデバイス動作の解析が可能、α線入射で生じる回路レベルの誤動作の有無も高速に解析できます。Window-MonteCarlo法による粒子モデルは極微細素子内部の動作を明らかにします。

レイアウト依存応力DFM

製品紹介
最先端素子で大きな問題としてクローズアップされている応力分布によるトランジスタ特性バラツキに対して、大規模領域での応力解析とその結果を回路設計レベルにフィードバックさせる実用的なDFM(Design For Manu-　facturting)システム。大規模領域の高速計算を可能にした独自技術で、実用レベルでの厳しいテストをクリア。

グラフィックス

製品紹介
プロセス・デバイスシミュレーション用のグラフィクスです。1次元〜3次元での計算結果に対して断面や直線上の分布表示、領域毎の表示/非表示設定など様々な書式で計算結果を視覚化します。