TiSSiEN−Atropos ( レイアウト依存応力DFM )

TiSSiEN-Atropos( レイアウト依存応力DFM )は、最先端応力DFM設計環境構築のために開発した、応力による電気特性変動を計算し、その結果を表示するツールです。65nmノード以降の最先端標準セルライブラリ開発に適用することを目的に開発しました。微細化が進むにつれ、MOSトランジスタ特性はゲート長/ゲート幅だけでなく、周りのパターン、例えば、活性領域長、活性領域間距離、ゲート間距離、コンタクト間距離などに依存します。これは応力効果によるシステマティックなバラツキと考えられています。TiSSiEN-Atropos( レイアウト依存応力DFM )はこのパターン依存の応力効果を応力コンパクトモデルとそのモデルパラメータを設定することにより、レイアウト上のマーキングされたトランジスタに対する移動度、閾値の変動量とその原因となる部分やその寄与率を表示します。WindowsとUNIXで動作します。